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皖儀科技精彩亮相IC China 2025，并成功加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟

2025-11-24

11月23日-25日，第二十二屆中國國際半導(dǎo)體博覽會（IC China 2025）在北京國家會議中心隆重舉行。這場由中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院聯(lián)合主辦的行業(yè)盛會，以“凝芯聚力·鏈動未來”為主題，匯聚了全球半導(dǎo)體領(lǐng)域的精英企業(yè)與全新技術(shù)成果。皖儀科技攜半導(dǎo)體行業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案參展，同期，參加2025年產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟中半?yún)f(xié)支撐業(yè)分會聯(lián)席理事(擴(kuò)大)會議，并正式獲批加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟。

硬核展示：皖儀科技三大解決方案

作為全球精密科學(xué)儀器專業(yè)供應(yīng)商，皖儀科技本次展會帶來了半導(dǎo)體行業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案的多元化產(chǎn)品線，包括AMC監(jiān)測解決方案、一站式密封性檢測解決方案和實(shí)驗(yàn)室分析儀器解決方案三大板塊。這些解決方案瞄準(zhǔn)了半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵痛點(diǎn)，為行業(yè)提供了可靠的技術(shù)支撐。

在AMC監(jiān)測領(lǐng)域，皖儀科技展示的專業(yè)方案能夠有效應(yīng)對半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中的有害氣體分子污染物—這些被稱為威脅產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全的“隱形殺手”。皖儀科技IC7000酸堿陰陽離子分析儀可以監(jiān)測F-、CL-、SO₄^2-、NH₄⁺等陰陽離子，在無塵室環(huán)境、晶圓表面、純水檢測等場景有廣泛應(yīng)用。而VM1750有機(jī)物分析儀則是一款分析環(huán)境空氣中多組分VOCS的高精度儀器，可以監(jiān)測116種揮發(fā)性有機(jī)物，檢出限≤0.1ppb，可用于監(jiān)測半導(dǎo)體各制程環(huán)節(jié)的污染。

在一站式密封性檢測解決方案方面，皖儀科技推出了由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀等組成的完整產(chǎn)品線，支持真空噴氦法、吸槍法等多種檢測方式。在半導(dǎo)體設(shè)備制造，運(yùn)行或維護(hù)過程中，氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于各種工藝，如刻蝕、CVD、PVD、真空爐、離子注入等。皖儀科技SFJ-16D單泵氦質(zhì)譜檢漏儀，采用了自有獨(dú)特的軟件算法和精密的真空系統(tǒng)設(shè)計，可滿足嚴(yán)苛的泄漏檢測要求。SFJ-16F雙泵氦質(zhì)譜檢漏儀則采用雙分子泵組合技術(shù)，可在量程范圍內(nèi)快速響應(yīng)，并在極短的時間內(nèi)完成從達(dá)到開檢條件到給出測試結(jié)果。

在實(shí)驗(yàn)室分析儀器領(lǐng)域，皖儀科技的分析儀器產(chǎn)品可應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝流程中的多個環(huán)節(jié)。 離子色譜儀可用于晶圓表面、濕電子化學(xué)品、光刻膠及配套試劑、電子特氣、潔凈空氣、封測、蝕刻劑、半導(dǎo)體超純水試劑中痕量雜質(zhì)離子、表面痕量無機(jī)雜質(zhì)離子、離子態(tài)雜質(zhì)分析。皖儀科技氣相、液相色譜儀，氣質(zhì)、液質(zhì)聯(lián)用儀可用于晶圓表面有機(jī)污染物、濕電子化學(xué)品的有機(jī)污染物、光刻膠有機(jī)物分析/配方剖析、電鍍液添加劑分析等有機(jī)污染物/有機(jī)成分分析，工藝氣體純度驗(yàn)證，材料釋氣（OUTGASSING)分析。

11月24日，在IC China 2025的新品發(fā)布會上，皖儀科技半導(dǎo)體解決方案總監(jiān)發(fā)表了題為“半導(dǎo)體行業(yè)AMC監(jiān)測解決方案”的主題演講。

現(xiàn)場著重介紹了AMC監(jiān)測在半導(dǎo)體制造過程中的重要性及技術(shù)難點(diǎn)，分享了皖儀科技在該領(lǐng)域的創(chuàng)新成果和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中，有害氣體分子污染物是威脅產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全的“隱形殺手”。隨著芯片制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小，對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求日益嚴(yán)苛，AMC監(jiān)測已成為保障產(chǎn)品良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

皖儀科技AMC監(jiān)測解決方案能夠?qū)崿F(xiàn)對生產(chǎn)環(huán)境中ppt至ppb級AMC污染物的精準(zhǔn)識別與實(shí)時監(jiān)控，為潔凈室環(huán)境提供嚴(yán)格保障，從源頭守護(hù)制程穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。

演講吸引了大量半導(dǎo)體制造企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)及行業(yè)專家的關(guān)注，現(xiàn)場座無虛席，交流互動環(huán)節(jié)氣氛熱烈。

聯(lián)盟會員：深化產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新

展會期間，皖儀科技還參加了2025年產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟中半?yún)f(xié)支撐業(yè)分會聯(lián)席理事（擴(kuò)大）會議，并成功通過申請，正式加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟，成為會員單位。這標(biāo)志著皖儀科技在半導(dǎo)體領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力和產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)得到了行業(yè)廣泛認(rèn)可。

加入集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟后，皖儀科技將更深入地參與半導(dǎo)體材料技術(shù)的研究與開發(fā)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)協(xié)同創(chuàng)新，共同推動我國半導(dǎo)體材料技術(shù)的進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。聯(lián)盟會員身份將為皖儀科技提供更多與國內(nèi)外先進(jìn)企業(yè)交流合作的機(jī)會，助力公司更好地把握行業(yè)發(fā)展趨勢，優(yōu)化產(chǎn)品布局。

創(chuàng)新積淀與未來展望

當(dāng)前，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高制程、更優(yōu)性能邁進(jìn)，卻面臨技術(shù)突破瓶頸與生態(tài)協(xié)同難題。皖儀科技作為中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會會員單位和集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟新成員，將深度融入產(chǎn)業(yè)生態(tài)，以專業(yè)監(jiān)測/檢測解決方案，助力攻克“卡脖子”技術(shù)難題。

未來，皖儀科技將持續(xù)深耕，以更多硬核方案為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入“芯”動能，秉持“進(jìn)口替代”的初心，堅持自主創(chuàng)新，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供更多硬核解決方案。攜手共創(chuàng)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)更璀璨的未來！